半導體製程設備裝機工程管理之研究

半導體製程設備裝機工程管理之研究 — 以 t 公司 12 吋晶圓廠為例指導教授 : 張守進教授研究生 : 吳家榮

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],論文架構

研究背景與動機 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

研究目的 ,[object Object],[object Object]

研究範圍 ,[object Object],[object Object],Quality S (scope) $ (cost) S (schedule)

研究方法 ,[object Object],[object Object]

研究流程確認研究目的與範圍文獻資料蒐集與探討專案管理知識整理運用案例分析結論與建議建立裝機工程專案管理流程

文獻探討 ,[object Object],[object Object],[object Object]

半導體製程介紹 Initial ox Si substrate Initial ox Si substrate PR Diff module PHOTO module ETCH module Ini ox Si sub PR Thin film module Ini ox Si sub Diff, PHOTO, ETCH, T/F IC cross section WAT Wafer Sorting Chip Cutting 初始晶片 (primary wafer) Bonding Packaging Final Test

半導體製程機台介紹擴散區 Furnace Implanter Wet Bench 薄膜區 PVD CVD 黃光區 Scanner Track 蝕刻區 Dry Etch Wet Etch

裝機工程介紹 ,[object Object],FLOOR ENHANCEMENT ELECTRICITY CDA,GN2 PV PCW RCWS SPECIALTY GAS & PN2 CHEMICAL UPW Tool foundation energize control Wafer handling Temperature control Process required Cleaning,process cleaning GEX(exhaust) Pumping line Local scrubber SEX GEX Exhaust(SEX,VEX,AEX) drain ( DIR,AOR,AWR,AWD ) Drain ( HF(D),IPA(D), THINNER(D), H2SO4(D),CuSO4(D),CMP(D )) Hookup Hookup : 設備連接點 : 廠務預留連接點 Utility supply Waste treatment

裝機工程介紹 1 F D.P. 3 F 2 F Scrubber PUMP FAC Utility Take Off Port FAC Utility Take Off Port S FAC Exhaust Take Off Port

裝機工程介紹 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

裝機工程介紹 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

專案管理 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

計畫程序執行程序控制程序結案程序起始程序需求產生，授權批准專案明確定義目標及達到目標之行動方案協調人員與其他資源以執行計畫定期監控執行結果，必要時採取矯正措施，以確保目標之達成審視並接受專案結果，儲存專案知識專案管理五大流程

專案管理九大知識領域

裝機工程專案管理流程 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

裝機工程專案起始程序 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

裝機工程專案計畫程序 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

裝機工程專案計畫程序 ,[object Object],[object Object],[object Object],Hookup Project CAD Pre Hookup Hookup 草圖施工圖竣工圖 Move in Move in OHT Electric Pre Hookup Gas Pre Hookup Electric Hookup Gas Hookup *** ***

裝機工程專案計畫程序 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

裝機工程專案計畫程序 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

裝機工程專案計畫程序

裝機工程專案執行程序 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

裝機工程專案控制程序 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

裝機工程專案控制程序 ,[object Object],[object Object],[object Object]

裝機工程專案結案程序 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

裝機前傳簽單 CAD 圖 WBS Scheduling Budgeting Quality Planning Scope Change Control Schedule Control Cost Control Quality Control 施工規範 QA 裝機後傳簽單裝機工程專案管理流程

案例分析 ,[object Object],[object Object],Ball room Phase-2 Phase-1 WAT new area Support WAT area Office 3F FAB

[object Object],[object Object],[object Object],案例分析 06 11 10 09 08 07 12 37 32 33 34 35 36 31 06 11 10 09 08 07 12 32 33 34 35 31 06 11 10 09 08 07 12 37 32 33 34 35 36 31 06 11 10 09 08 07 12 37 32 33 34 35 36 31 06 08 07 09 06 08 07 32 33 34 35 31 06 08 07 AWAT03 AWAT04 AWAT01 AWAT02 AWAT05 AWAT06 AWAT07 AWAT08 AWAT09 AWAT10 AWAT11 AWAT12 AWAT13 AWAT14 AWAT16 AWAT17 AWAT18 AWAT19 AWAT20 AWAT15 AWAT21

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],案例分析 5 月 17 日 5 月 11 日 7 AWAT16/17/21 Relocation 5 月 10 日 5 月 4 日 7 AWAT01/02/15/18~20 Relocation 5 月 3 日 4 月 27 日 7 AWAT03/04/11~14 Relocation 4 月 26 日 4 月 20 日 7 AWAT05~10 Relocation Finish Start Duration WAT tool move in schedule

Tool hookup Tool relocation WAT new area pre- hookup Support area recovery Tool turn on Foundation pre- hookup Power pre- hookup CDA pre- hookup PV pre- hookup Seismic disconnect Power disconnect CDA disconnect PV disconnect Tool relocation Power hookup CDA hookup PV hookup Seismic hookup Issue QC report Power turn on CDA turn on PV turn on Tool release Foundation remove Power cable remove CDA remove PV remove Raised floor recovery AWAT03;04;11~14 relocation WAT Relocation Project AWAT05~10 relocation AWAT01;02;15;18~20 relocation AWAT16;17;21 relocation 鋼材切割準備噴砂烤漆地板切割鋼構現場組裝地板修邊 Cable tray 施作佈線 Breaker 安裝盤面組裝管線施作保壓測試閥件組裝管線施作案例分析 ,[object Object]

25% 績效評估 ,[object Object]

50% 績效評估 ,[object Object]

4/20 當天 Schedule 績效評估 ,[object Object],△ T=2 hrs ,[object Object],實際只做了 2hrs 實際只做了 2hrs

修正措施 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

改善經濟效益 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],08 09 16 17 9 hrs 7 hrs

結論與建議 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

半導體製程設備裝機工程管理之研究

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