1. SEM 教育訓練
電子顯微鏡Scanning Electron Microscopy (SEM)
原理與操作簡介

2. outline
SEM 介紹與原理
– 電子槍
– 電子源-燈絲
– 物鏡
電子束聚焦系統
– 電子路徑圖
– 真空的需求
開機步驟
– 操作鍵盤
– 操作介面
– 如何增加影像解析度之方法
關機步驟
使用SEM觀看多孔矽

3. SEM 介紹與原理
•用電子束撞擊樣品表面使表面原子激出電子
•收集這些二次電子並轉譯成表面形狀的圖像