Auteur : Gregory Haye, Responsable Recherche Partenariale, FEMTO-ST Réalisé lors du 3ème Atelier Microtechniques & Innovation de Minnovarc les 4-5 avril 2012 à Malbuisson, France Plus d'infos sur www.minnovarc.fr

1. Présentation : G. Haye - Atelier Minnovarc, 5 avril 2012
PANORAMA de l'institut FEMTO-ST

2. Création de FEMTO-ST (UMR 6174) en 2004
« Franche-Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique -
Sciences et Technologies »
• Une vocation pluridisciplinaire et technologique
• Réorganisation et élargissement en 2008
• Elargissement en 2012 : intégration du LIFC
• Des recherches reconnues de longue date par le CNRS
4 établissements de rattachement
6 localisations
• Besançon (3) : Bouloie, Temis, Observatoire
• Belfort (2) : Parc technologique, Techn’hom
• Montbéliard (1) : Portes du Jura
Carte d’identité de l’institut
2012 2
Université de Franche-Comté
Centre National de la Recherche Scientifique
Ecole Nationale Supérieure de Mécanique
et des Microtechniques
Université de Technologie de Belfort-Montbéliard
Personnel : 500 650 p
Budget : 22 M€ dont 9,4 M€
d’ opérationnel (2010)
Ressources propres: 5,5 M€
Près de 250 contrats de
recherche annuels
Projet Temis Sciences sur Besançon
UFC
48%
CNRS
30%
ENSMM
20%
UTBM
2%
Effectif titulaires par tutelle
(total 324)

3. Une culture ancienne en physique et sciences
de l’ingénieur
Spécificité : fédère la plupart des activités régionales
de recherche en « sciences et techniques »
Un large spectre thématique
Une vocation pluridisciplinaire basée sur
l’excellence disciplinaire
Spécificité : Classé A+ par l’AERES en 2011
Une recherche s’appuyant sur la technologie
Spécificité : Réalise et teste des dispositifs réels
démontrant les nouveaux concepts explorés
Un soucis d’intervenir de la recherche
fondamentale aux applications industrielles
Positionnement de l'institut
2012 3
 Automatique
 Acoustique
 Electronique
 Energie
 Ingénierie biomédicale
 Informatique
 Mécanique
 Microsystèmes
 Nanotechnologies
 Optique
 Temps-fréquence

4. Départements de recherche
AUTOMATIQUE & SYSTEMES
MICRO-MECATRONIQUES (AS2M)
ENERGIE
MECANIQUE
(MEC’APPLI)
MICRO NANO
SCIENCES & SYSTEMS
(MN2S)
OPTIQUE
TEMPS-FREQUENCE
13 %
24 %
- Vibrations et acoustique
- Matériaux et structures
- Procédés de mise en
forme et microfabrication
- Micro analyse des
surfaces
- Résonateurs et
oscillators ultra-stables
- Acousto-électronique et
piezoelectricité
- Métrologie et dispositifs
radiofréquence
- Métrologie et modelisation
énergétique
- Conception de systèmes
énergétiques
- Echanges thermiques et
écoulements fluidiques
complexes
- Automatique
- Microrobotique
- Micromécatronique
- Micromanipulation and micro-assemblage
- Pronostic & Health Management (PHM)
- Micro and nano-instrumentation
- Nanosciences
- Micro & nano-acoustique
- Microsystèmes multiphysiques
- Micro, nanomatériaux et surfaces
- Photonique et telecommunications
- Nano-optique
- Optoélectronique
- Optique non
linéaire
- Biophotonics
INFORMATIQUE DES
SYSTEMES COMPLEXES
- Algorithmique numérique
distribuée
- Réseaux et systèmes distribués
- Optimisation, mobility et
networking
- Verification, validation de logiciels
et systèmes embarqués
2012

5. Centrale de microfabrication
2012 5
- 800 m² de salles blanches
- 13 M€ d’équipements technologiques
- 15 ingénieurs et techniciens
- 75 projets internes /an
- 25 projets exogènes /an (projets portés par d’autres laboratoires)
- 10 utilisateurs industriels (en autonomie)
- Ligne pilote microfabrication composants quartz (2,5 M€)
MIMENTO : Une centrale de technologie
de premier plan national
Filières technologiques
Matrice de transducteur
ultrasonore
Cristaux
« phononiques »
Microfabrication
3 dimensions
Microfabrication
sur piézoélectriques
Micro-lentilles polymère
par matriçage à chaud
Micromécanique
« hybride »
Cristal photonique
LiNbO3
Nanotechnologies
spécifiques

6. Faits marquants
2012 6
- labex FIRST – TF
Réseau thématique national dans le domaine
de la métrologie temps fréquence
- Equipex ROBOTEX
Réseau national de plateformes
robotiques d’excellence
- IRT M2P
Matériaux, Métallurgie, Procédés
FEMTO-ST certifié ISO 9001 pour son
activité de recherche partenariale
FEMTO-ST : projets retenus dans le cadre du
Grand Emprunt
FEMTO-ST : 2 ERC Grants en 2011
-Prof John Dudley
ERC Advanced Grants
« UCD MULTIWAVE
project to shed light on
freak waves »
- Dr Yanne Chembo
ERC Starting Grants
« Next generation of
microwave photonic
systems for aerospace »
FEMTO-ST : Lauréat 2010 et lauréat des lauréats des
trophées INPI de l’innovation de ces 20 dernières
années en 2011
- labex « ACTION »
Systèmes intelligents intégrés dans la matière
- Equipex « Oscillator-IMP »
Plateforme dédiée à la caractérisation de
la stabilité de fréquence à court terme
- Equipex « REFIMEVE »
Réseau national fibre métrologique à
vocation européenne

7. Start-up
2012 7
AR Electronique (42 personnes)
1989, Oscillateurs à quartz de précision
Photline Technologies (30 personnes)
2000, Composants Niobate de Lithium
O.DE.SIM (1 personne)
2002, Services simulation numérique en mécanique
Silmach (10 personnes)
2003, Microactionneurs
Smartesting (30 personnes)
2003, solutions de logiciels de tests automatisés
MaHyTec (2 personnes)
2007, Systèmes de stockage d’hydrogène
Covalia (10 personnes)
2007, télémédecine
e-m@systec (2 personnes)
2008, Solution de e-maintenance
Mesurtek (1 personne)
2008, Mesures thermiques & méthodes inverses
Aurea Technology (3 personnes)
2010, Instrumentation optique
Share&Move (3 personnes)
2010, Logiciels pour mobilité transports alternatifs
Percipio Robotics (3 personnes)
2011, Microrobotique et microassemblage
Crystal Device Technology (2 personnes)
2011, Micro-modulateurs électro-optiques
13 spin-off issues de FEMTO-ST : 150 emplois créés

8. UNE OPERATION PILOTE DE MUTUALISATION ENTRE
RECHERCHE & INDUSTRIE, QUI - NOUS L’ESPERONS -
SERVIRA AUSSI D’EXEMPLE POUR L’AVENIR !
Le projet Quartz-Tech
Capteur de température à ondes
acoustiques de surface
Projet : installation d’une ligne-pilote de microfabrication de composants quartz
Coût : 2,45 M€
Porteur : Université de Franche Comté
Gestion: assurée par une spin-off en cours de création
fournissant un service de fabrication permettant de couvrir une partie des coûts
de la ligne
Utilisateurs: laboratoires de recherche (dont FEMTO-ST), industriels, centres de
transfert
Spécificité: plateforme technologique unique en France et d’envergure
internationale
Retombées: création d’une activité économique dans le domaine des
micro-capteurs en Franche-Comté (marché mondial en 2008 : 3,2 milliards $)

9. Merci pour votre attention
2012 9