1. FANUC AC SERVO MOTOR @* series
FANUC AC SERVO MOTOR #* series
FANUC LINEAR MOTOR L*S series
FANUC SY NCHRONOUS
BUILT-IN SERVO MOTOR D*S series
パラメータ説明書
B-65270JA/07

2. ・本書からの無断転載を禁じます。
・本機の外観および仕様は改良のため変更することがあります。
本説明書に記載された商品は、『外国為替及び外国貿易法』に基づく規制対象です。輸出
には日本政府の許可が必要な場合があります。また、商品によっては米国政府の再輸出規
制を受ける場合があります。本商品の輸出に当たっては当社までお問い合わせ下さい。
本説明書では、できるだけ色々な事柄を書くように努めています。
しかし、こういう事はやってはいけない、こういう事はできないという事は非常に多く
説明書が膨大になり、書ききれません。
したがって、本書で特にできると書いていない事は「できない」と解釈して下さい。
本説明書中に当社製品以外のプログラム名やデバイス名などが記載されていますが、
それらには各メーカの登録商標が含まれています。
ただし本文中にはおよび マークは明記していない場合があります。
■安全に関する全般的なご注意
・ アラームの発生時やハード不良時など以上動作時には、具体的な記載の無い限り本仕様
書に記載の動作は保証されません。異常動作時の対応について具体的な記載がある場合
は、その内容に従い、記載の無い場合は、弊社までお問い合わせ下さい。
・ 本仕様書に記載の信号や機能は、「安全機能に使える」との記載の無い限り、「安全機
能」として使用することは出来ません。「安全機能」としての使用を想定した仕様とな
っていないため、思わぬ危険を招く恐れがあります。「安全機能」について不明な点は
弊社までご相談頂きますようお願い致します。
一般に「安全機能」とは機械による危険から作業者を守るための機能を指します。
・ 機器の接続や設定を誤った場合、予期せぬ動作になる可能性がありますので、機械を組
み立てたり部品を交換したりパラメータの変更をした後で初めて運転する場合には、ト
ルクリミット値を下げる・誤差過大レベルを下げる・動作速度を下げる・直ぐに非常停
止が掛けられるように操作する等、細心の注意を払って動作させてください。

3. B-65270JA/07 警告、注意、注について
警告、注意、注について
使用者の安全および機械の破損防止のために、安全に関する注意事項の程度に
応じて、本文中に『警告』および『注意』の表記をしています。
また、補足的な説明を記述するために『注』の表記をしています。
使用する前に、『警告』、『注意』、『注』に記載されている事項をよく読ん
で下さい。
警告
取扱いを誤った場合に、使用者が死亡又は重傷を負う危険の状態が生
じることが想定される場合に用いられます。
注意
取扱いを誤った場合に、使用者が軽傷を負うか又は物的損害のみが発
生する危険の状態が生じることが想定される場合に用いられます。
注
警告又は注意以外のことで、補足的な説明を記述する場合に用いられ
ます。
※ 本説明書を熟読し、大切に保管して下さい。
s-1

5. B-65270JA/07 目次
目次
警告、注意、注について .................................................................................................s-1
1 概要 ............................................................................................................................ 1
1.1 NC の対応サーボソフトとサーボカード .................................................................................2
1.2 本説明書での NC の略称..........................................................................................................4
1.3 関連マニュアル........................................................................................................................5
2 ααiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定................................................. 7
2.1 サーボパラメータの初期設定 ..................................................................................................8
2.1.1 サーボパラメータの初期設定にあたって.......................................................................................8
2.1.2 パラメータ初期設定フロー...............................................................................................................9
2.1.3 サーボパラメータの初期設定手順.................................................................................................10
2.1.4 シリアルインタフェース対応別置検出器使用時のサーボパラメータ設定について..............30
2.1.5 アナログ入力別置インタフェースユニット使用時のサーボパラメータ設定について..........42
2.1.6 αiCZ センサ使用時のパラメータ設定について ...........................................................................44
2.1.7 加速度センサ、温度検出回路使用時のパラメータ設定について .............................................50
2.1.8 サーボパラメータ設定不正アラームが発生した場合の処理 .....................................................58
2.1.9 制御軸取り外し機能使用時の注意点について .............................................................................74
3 ααiS/αiF/βiS シリーズのパラメータ調整 ............................................................. 75
3.1 サーボ調整画面と診断情報....................................................................................................76
3.1.1 サーボ調整画面 ................................................................................................................................76
3.1.2 診断情報一覧 ....................................................................................................................................79
3.1.3 実電流のピークホールド表示について.........................................................................................82
3.1.4 加速度モニタ機能 ............................................................................................................................83
3.2 アラーム発生時の診断方法....................................................................................................84
3.3 高速高精度のためのパラメータ調整方法 ..............................................................................92
3.3.1 サーボ HRV 制御調整手順 ..............................................................................................................92
3.3.2 高速位置決め調整手順 ..................................................................................................................115
3.3.3 早送り位置決め調整手順 ..............................................................................................................118
3.3.4 停止中の振動について ..................................................................................................................123
3.3.5 移動中の振動について ..................................................................................................................125
3.3.6 ため送りについて ..........................................................................................................................128
3.3.7 オーバシュートについて ..............................................................................................................129
4 サーボ機能詳細 ...................................................................................................... 131
4.1 サーボ HRV 制御..................................................................................................................132
4.1.1 サーボ HRV2 制御 ..........................................................................................................................135
4.2 高速 HRV 電流制御 ..............................................................................................................136
4.2.1 サーボ HRV3 制御 ..........................................................................................................................136
4.2.2 サーボ HRV4 制御 ..........................................................................................................................144
4.2.3 高速 HRV 電流制御 ........................................................................................................................149
4.3 切削／早送り別機能.............................................................................................................150
4.4 停止時の振動抑制機能について ..........................................................................................156
4.4.1 速度ループ比例項高速処理機能...................................................................................................156
4.4.2 加速度フィードバック機能...........................................................................................................158
4.4.3 停止時比例ゲイン可変機能...........................................................................................................160
4.4.4 N パルスサプレス機能...................................................................................................................163
4.4.5 電流ループ 1/2 PI 機能 ...................................................................................................................165
c-1

6. 目次 B-65270JA/07
4.5 機械共振抑制機能について..................................................................................................167
4.5.1 共振抑制機能の使い分けについて...............................................................................................167
4.5.2 トルクコマンドフィルタ（中周波振動除去フィルタ） ...........................................................168
4.5.3 制振フィルタ機能（高周波振動除去フィルタ） .......................................................................171
4.5.4 外乱除去フィルタ機能（低周波振動除去フィルタ） ...............................................................176
4.5.5 制振フィルタ L（低周波振動除去フィルタ）............................................................................180
4.5.6 オブザーバ機能 ..............................................................................................................................183
4.5.7 制振制御機能について ..................................................................................................................187
4.5.8 デュアル位置フィードバック機能（オプション機能） ...........................................................189
4.5.9 機械速度フィードバック機能.......................................................................................................195
4.5.10 機械先端点制御 ..............................................................................................................................198
4.6 形状誤差抑制機能について..................................................................................................201
4.6.1 フィードフォワード機能 ..............................................................................................................201
4.6.2 先行フィードフォワード機能.......................................................................................................205
4.6.3 RISC フィードフォワード機能 .....................................................................................................208
4.6.4 切削、早送り別フィードフォワード機能...................................................................................210
4.6.5 フィードフォワードタイミング調整機能...................................................................................212
4.6.6 バックラッシ加速機能 ..................................................................................................................215
4.6.7 2 段バックラッシ加速機能............................................................................................................221
4.6.8 静摩擦補正機能 ..............................................................................................................................236
4.6.9 ねじれ予見制御機能 ......................................................................................................................239
4.7 オーバシュート補正機能 .....................................................................................................249
4.8 高速位置決め機能 ................................................................................................................255
4.8.1 ポジションゲイン切り替え機能...................................................................................................255
4.8.2 低速時積分機能 ..............................................................................................................................259
4.8.3 ファイン加減速（FAD）機能.......................................................................................................261
4.9 シリアルフィードバックダミー機能 ...................................................................................270
4.9.1 シリアルフィードバックダミー機能...........................................................................................270
4.9.2 多軸のサーボアンプで使用しない軸がある場合の使用方法 ...................................................273
4.10 ブレーキコントロール機能..................................................................................................274
4.11 停止距離短縮機能 ................................................................................................................278
4.11.1 非常停止時停止距離短縮機能タイプ 1........................................................................................278
4.11.2 非常停止時停止距離短縮機能タイプ 2........................................................................................281
4.11.3 非常停止時重力軸引き上げ機能...................................................................................................282
4.11.3.1 非常停止時重力軸引き上げ機能.................................................................................................... 282
4.11.3.2 DI 信号による引き上げ量切換機能............................................................................................... 286
4.11.3.3 引き上げ量をµm 単位で設定する方法について ......................................................................... 289
4.11.4 別置検出器ハード断線時停止距離短縮機能...............................................................................290
4.11.5 別置検出器アラーム時停止距離短縮機能...................................................................................292
4.11.6 OVL、OVC アラーム発生時停止距離短縮機能..........................................................................293
4.11.7 停止距離短縮機能の総合的な使い方...........................................................................................294
4.12 異常負荷検出機能（オプション機能）................................................................................295
4.12.1 異常負荷検出機能 ..........................................................................................................................295
4.12.2 切削、早送り別異常負荷検出について.......................................................................................306
4.12.3 加速度別異常負荷検出について...................................................................................................308
4.13 非常停止時の電流オフセット取り込み機能 ........................................................................310
4.14 リニアモータのパラメータ設定について ............................................................................311
4.14.1 リニアモータの初期パラメータ設定手順...................................................................................311
4.14.2 リニアモータ・同期ビルトインサーボモータ使用時の サーボソフトによるオーバヒート
アラームの検出について ..............................................................................................................338
4.14.3 リニアモータのなめらか補正.......................................................................................................342
4.15 同期ビルトインサーボモータのパラメータ設定について...................................................346
4.15.1 同期ビルトインサーボモータの初期パラメータ設定手順 .......................................................346
4.15.2 同期ビルトインサーボモータ使用時のサーボソフトによるオーバヒートアラームの検出
について ..........................................................................................................................................382
c-2

7. B-65270JA/07 目次
4.15.3 同期ビルトインサーボモータのなめらか補正 ...........................................................................383
4.16 大型サーボモータのパラメータ設定について.....................................................................388
4.16.1 モータモデルとシステム構成について.......................................................................................388
4.16.2 トルクタンデム構成でのパラメータ設定について ...................................................................389
4.16.3 PWM 分配モジュール構成でのパラメータ設定について.........................................................391
4.16.4 PWM 分配モジュール(PDM)のデータ測定・診断について......................................................394
4.17 干渉力補正機能....................................................................................................................397
4.18 トルクコントロール機能 .....................................................................................................412
4.19 タンデム制振制御（ポジションタンデム）（オプション機能）........................................415
4.20 同期自動補正機能 ................................................................................................................423
4.21 トルクタンデム制御（オプション機能） ............................................................................427
4.21.1 プリロード機能 ..............................................................................................................................433
4.21.2 ダンピング補正機能 ......................................................................................................................435
4.21.3 速度フィードバック平均機能.......................................................................................................437
4.21.4 サーボアラーム 2 軸同時監視機能...............................................................................................438
4.21.5 モータフィードバック共通化機能...............................................................................................439
4.21.6 フルクロフィードバック共通化機能...........................................................................................440
4.21.7 調整方法 ..........................................................................................................................................441
4.21.8 2 台のモータで 1 つの軸を制御する場合の注意事項.................................................................445
4.21.9 速度ループ積分器コピー機能.......................................................................................................446
4.21.10 速度差アラーム機能 ......................................................................................................................447
4.21.11 ブロック図 ......................................................................................................................................449
4.22 サーボ調整ツール サーボガイドについて ...........................................................................450
4.22.1 サーボガイドについて ..................................................................................................................450
5 パラメータ詳細 ...................................................................................................... 468
5.1 Series 30i,31i,32i,15i,16i,18i,21i,0i,20i,Power Mate i サーボパラメータ詳細
（90D0,90E0,90B0,90B1,90B6,90B5,9096 系列）.............................................................469
6 パラメータ表.......................................................................................................... 495
6.1 HRV1 制御用パラメータ......................................................................................................496
6.2 HRV2 制御用パラメータ......................................................................................................506
6.3 HRV1 制御用パラメータ（Series 0i-A 用）........................................................................521
付録
A アナログサーボインタフェースの設定方法 ........................................................... 527
B 検出単位で設定するパラメータ ............................................................................. 536
B.1 Series 15i の場合 .................................................................................................................537
B.2 Series 16i, 18i, 21i, 0i の場合 .............................................................................................539
B.3 Power Mate i の場合 ............................................................................................................541
B.4 Series 30i, 31i, 32i の場合 ...................................................................................................543
C 機能別サーボパラメータ一覧................................................................................. 546
D 高速高精度関連パラメータ一覧 ............................................................................. 558
D.1 機種ごとの情報....................................................................................................................559
D.1.1 Series 15i-MB...................................................................................................................................559
D.1.2 Series 16i/18i/21i/0i/0i Mate-MB, 0i/0i Mate-MC/20i-FB .............................................................562
D.1.3 Series 30i/31i/32i-A、31i-A5...........................................................................................................572
D.2 高速高精度関連サーボパラメータ一覧................................................................................574
c-3

8. 目次 B-65270JA/07
E サーボソフトにおける速度限界値について ........................................................... 581
F サーボ機能一覧 ...................................................................................................... 586
G αシリーズ等のパラメータ ..................................................................................... 590
G.1 αシリーズモータのモータ番号............................................................................................591
G.2 αシリーズモータのモータ番号............................................................................................593
G.3 従来リニアモータのモータ番号 ..........................................................................................594
G.4 サーボ HRV2 制御用パラメータ ..........................................................................................595
G.5 αシリーズ・αシリーズ・従来リニアモータの HRV1 制御用パラメータ ...........................596
G.6 αM シリーズモータの HRV2 制御用パラメータ..................................................................605
H 高速高精度調整の詳細 ........................................................................................... 607
I サーボチェックボードの使用方法について ........................................................... 629
I.1 サーボチェックボードの使用方法について ........................................................................630
I.2 チェックボードを用いた異常負荷検出の調整について ......................................................643
I.3 チェックボードを用いたリニアモータ AMR オフセット調整について
（インクリメンタルタイプ） ..............................................................................................644
I.4 チェックボードを用いたリニアモータ滑らか補正の調整について ....................................647
I.5 チェックボードを用いた周波数特性の測定方法について...................................................653
J サーボチェック I/F ユニットの使用方法................................................................ 657
c-4

9. B-65270JA/07 1.概要
1 概要
本説明書は、ファナック AC サーボモータαiS/αiF/βiS シリーズを採用してい
る下記 NC におけるサーボパラメータの立ち上げ手順、調整方法、各パラメー
タの意味について記述しています。
1 章「概要」は、下記の内容で構成されています。
1.1 NC の対応サーボソフトとサーボカード .......................................................2
1.2 本説明書での NC の略称..................................................................................4
1.3 関連マニュアル .................................................................................................5
-1-

10. 1.概要 B-65270JA/07
1.1 NC の対応サーボソフトとサーボカード
NC 機種名 サーボソフト系列／対応版数 サーボカード
Series 21i-MODEL B （注 1） 9096 系列／A(01)～
320C52 サーボカード
Series 0i-MODEL B （注 1） （i シリーズ、サーボ HRV1 制御用）(注 2)
Series 0i Mate-MODEL B （注 1）
Power Mate i-MODEL D （注 1）
90B0 系列／H(08)～
Power Mate i-MODEL H （注 1）
90B6 系列／A(01)～
（i シリーズ、サーボ HRV1,2,3 制御用）(注 3) 320C5410 サーボカード
Series 15i-MODEL B
90B1 系列／A(01)～ (注 4)
Series 16i-MODEL B
Series 18i-MODEL B
90B5 系列／A(01)～
Series 0i-MODEL C
（i シリーズ、サーボ HRV1,2,3 制御用）(注 5)
Series 0iMate-MODEL C 320C5410 サーボカード
90B8 系列／I(09)～ (注 6)
Series 20i-MODEL B
90D0 系列／A(01)～
FS30i サーボ HRV4 制御用
（i シリーズ、サーボ HRV4 制御用）
Series 30i-MODEL A サーボカード
(注 7, 8)
Series 31i-MODEL A
90E0 系列／A(01)～
FS30i サーボ HRV2,3 制御用
（i シリーズ、サーボ HRV2,3 制御用）(注 8)
サーボカード
Series 32i-MODEL A
注
1 Series 21i-MODEL B, 0i-MODEL B, 0i-Mate MODEL B, Power Mate
i-MODEL D, H では、搭載されているサーボカードによって、サーボ
ソフトの系列が下記のように分かれます。
サーボソフト サーボカード
9096 系列 320C52 カード
90B0 系列または 90B6 系列 320C5410 カード
2 サーボソフト 9096 系列は、下記機能を除いて、従来のサーボソフト
9090 系列と互換です。
・電子ギアボックス（EGB）機能は使用できません。
3 サーボソフト 90B0 系列は、従来のサーボソフト 90A0 系列と上位互
換です。90B6 系列は 90B0 系列の後継系列です。
4 90B1 系列は 90B0 系列互換の特殊系列で、以下の機能を使用する時
に必要となります。
・PWM 分配モジュール ・パルス入力 DSA
・磁極検出 ・アナログ SDU
-2-

11. B-65270JA/07 1.概要
注
5 サーボソフト 90B5 系列は、90B6 系列と同じ機能をサポートする
90B0 系列の後継系列で、Series 0i-MODEL C, 0iMate-MODEL C,
20i-MODEL B で使用されます。
6 サーボソフト 90B8 系列は、90B1 系列と同じ機能をサポートする、
90B0 系列の後継系列で、Series 0i-MODEL C, 0iMate-MODEL C で
使用されます。
7 Series 30i-MODEL A, 31i-MODEL A でサーボ HRV4 制御を使用する
場合、90D0 系列を使用してください。
8 サーボソフト 90D0,90E0 系列は、下記機能を除いて、従来のサーボ
ソフト 90B0 系列と上位互換です。
・ファイン加減速（FAD）機能は使用できません。
・HRV1 制御は使用できません。
サーボソフト系列マップ
HRV1 対応, αi 非対応
9090
HRV1 対応, αi 対応
9096
HRV2 対応, αi 非対
90A0
90A6
HRV3 対応, αi 対応
90B0
磁極検出, アナログ SDU 等対応
Series 16i 等用 Series 0i-C, 20iB 用 Series 16i 等用 Series 0i-C 用
90B6 90B5 90B1 90B8
Series 30i 等用
HRV4 対応
90E0 90D0
-3-

12. 1.概要 B-65270JA/07
1.2 本説明書での NC の略称
本説明書では、NC の名称は下記の略称で記述しています。
NC 機種名 略称
FANUC Series 30i-MODEL A Series 30i-A Series 30i
Series 30i
FANUC Series 31i-MODEL A Series 31i-A Series 31i
FS30i
FANUC Series 32i-MODEL A Series 32i-A Series 32i
Series 15i
FANUC Series 15i-MODEL B Series 15i-B Series 15i
FS15i
FANUC Series 16i-MODEL B Series 16i-B Series 16i
FANUC Series 18i-MODEL B Series 18i-B Series 18i
Series 20i
FANUC Series 20i-MODEL B Series 20i-B
FS 20i
FANUC Series 21i-MODEL B Series 21i-B Series 21i
FANUC Series 0i-MODEL C Series 0i-C
Series 16i 等
FANUC Series 0i Mate-MODEL C Series 0i Mate-C Series 0i
FS16i 等
FANUC Series 0i-MODEL B Series 0i-B FS 0i
FANUC Series 0i Mate-MODEL B Series 0i Mate-B
Power Mate i-D
FANUC Power Mate i-MODEL D Power Mate i
PMi-D
Power Mate i-D,-H
Power Mate i-H
FANUC Power Mate i-MODEL H (注 1)
PMi-H
注
1 本説明書で、Power Mate i において、MODEL の表記の無い場合は
Power Mate i-D、Power Mate i-H を示します。
-4-

13. B-65270JA/07 1.概要
1.3 関連マニュアル
ファナック AC サーボモータαiS/αiF/βiS シリーズに関するマニュアルは下記
の通りです。下表で本説明書には＊が付いています。
表 1.3 SERVO MOTOR αiS/αiF/βiS series の関連説明書
説明書名 説明書番号 主要項目 主要用途
FANUC AC SERVO MOTOR αi series
B-65262JA
仕様説明書
FANUC AC SERVO MOTOR βi series
B-65302JA ・仕様
仕様説明書
・特性 ・モータの選定
FANUC LINEAR MOTOR LiS series
B-65222JA ・外形図 ・モータの結合
仕様説明書
・接続
FANUC SYNCHRONOUS BUILT-IN SERVO
MOTOR DiS series B-65332JA
仕様説明書
FANUC SERVO AMPLIFIER αiSV series ・仕様と機能
B-65282JA
仕様説明書 ・設置 ・アンプの選定
FANUC SERVO AMPLIFIER βiSV series ・外形図と保守エリア ・アンプの結合
B-65322JA
仕様説明書 ・接続
FANUC AC SERVO MOTOR αiS series
・システムの立上げ
FANUC AC SERVO MOTOR αi series ・立上げ手順
(ハードウェア)
FANUC AC SPINDLE MOTOR αi series B-65285JA ・障害追跡
・障害追跡
FANUC SERVO AMPLIFIER αi series ・モータの保守
・モータの保守
保守説明書
FANUC SERVO MOTOR βiS series ・システムの立上げ
・立上げ手順
FANUC AC SPINDLE MOTOR βi series (ハードウェア)
B-65325JA ・障害追跡
FANUC SERVO AMPLIFIER βi series ・障害追跡
・モータの保守
保守説明書 ・モータの保守
FANUC AC SERVO MOTOR αi series
FANUC AC SERVO MOTOR βi series ・システムの立上げ
・初期設定
FANUC LINEAR MOTOR LiS series (ソフトウェア)
B-65270JA ・パラメータの設定 ＊
FANUC SYNCHRONOUS BUILT-IN SERVO ・システムの調整
・パラメータの説明
MOTOR DiS series (パラメータ)
パラメータ説明書
FANUC AC SPINDLE MOTOR αi series ・システムの立上げ
・初期設定
FANUC AC SPINDLE MOTOR βi series (ソフトウェア)
B-65280JA ・パラメータの設定
FANUC BUILT-IN SPINDLE MOTOR Bi series ・システムの調整
・パラメータの説明
パラメータ説明書 (パラメータ)
-5-

14. 1.概要 B-65270JA/07
本説明書中の他社の製品について
※ IBM PC は IBM 社の登録商標です。
※ MS-DOS, Windows は Microsoft 社の登録商標です。
本説明書に記載されている上記以外の製品は、すべてそれぞれの所有者の商標、
登録商標です。
本説明書で、サーボパラメータの説明は次のようになっています。
（例）
Series15i サーボパラメータの機能名
No.1875(FS15i) 負荷イナーシャ比
No.2021(FS30i,16i)
Series30i,31i,32i,16i,18i,21i,0i,Power Mate i
αi /βi パルスコーダには以下のものが用意されています。
パルスコーダ名称 分解能 タイブ
αiA1000 1,000,000 パルス/rev アブソリュート
αiI 1000 1,000,000 パルス/rev インクリメンタル
αiA16000 16,000,000 パルス/rev アブソリュート
βiA128 131,072 パルス/rev アブソリュート
βiA64 65,536 パルス/rev アブソリュート
いずれのパルスコーダも設定上はモータ 1 回転あたり 1,000,000 パルスとして
パラメータの設定を行います。
注
αiA16000 は、 ナノ輪郭制御と組み合わせて使用すると効果的です。
AI
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15. B-65270JA/07 2. αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定
2 αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの
設定
2 章「αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定」は、下記の内容で構成
されています。
2.1 サーボパラメータの初期設定 .........................................................................8
2.1.1 サーボパラメータの初期設定にあたって .........................................8
2.1.2 パラメータ初期設定フロー.................................................................9
2.1.3 サーボパラメータの初期設定手順 ...................................................10
2.1.4 シリアルインタフェース対応別置検出器使用時のサーボ
パラメータ設定について...................................................................30
2.1.5 アナログ入力別置インタフェースユニット使用時のサーボ
パラメータ設定について...................................................................42
2.1.6 αiCZ センサ使用時のパラメータ設定について............................44
2.1.7 加速度センサ、温度検出回路使用時のパラメータ設定について 50
2.1.8 サーボパラメータ設定不正アラームが発生した場合の処理........58
2.1.9 制御軸取り外し機能使用時の注意点について ...............................74
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16. 2.αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定 B-65270JA/07
2.1 サーボパラメータの初期設定
2.1.1 サーボパラメータの初期設定にあたって
サーボパラメータの初期設定を行うため、以下の情報を確認します。
① NC の機種名 （例 Series 16i-B）
② サーボモータのモデル名 （例 αiF 8 /3000）
③ モータ内蔵のパルスコーダの種類 （例 αiA1000）
④ 別置位置検出器の有・無 （例 無）
⑤ モータ 1 回転あたりの機械の移動量 （例 10mm/モータ 1 回転）
⑥ 機械の検出単位 （例 0.001mm）
⑦ NC の指令単位 （例 0.001mm）
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17. B-65270JA/07 2. αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定
2.1.2 パラメータ初期設定フロー
以下に示す手順に従ってサーボパラメータの初期設定を行います。
各設定の詳細は 2.1.3 項を参照ください。
準備
-非常停止状態で電源ＯＮ
-パラメータ書き込み可にする
-サーボ設定画面を表示する ⇒2.1.3 (1)
サーボパラメータの設定
設定内容 参照項目
初期設定ビット ⇒2.1.3 (2)
モータ番号の設定 ⇒2.1.3 (3)
AMR の設定 ⇒2.1.3 (4)
CMR の設定 ⇒2.1.3 (5)
フレキシブルフィードギアの設定 ⇒2.1.3 (6)
モータ移動方向の設定 ⇒2.1.3 (7)
速度パルス数、速度パルス数の設定 ⇒2.1.3 (8)
レファレンスカウンタの設定 ⇒2.1.3 (9)
フルクローズの設定 ⇒2.1.3 (10)
サーボループゲインの設定 ⇒2.1.3 (11)
ＣＮＣの再起動 ⇒2.1.3 (12)
絶対位置検出の設定 ⇒2.1.3 (13)
サーボパラメータ初期設定完了
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18. 2.αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定 B-65270JA/07
2.1.3 サーボパラメータの初期設定手順
(1) 準備
非常停止状態で NC の電源を ON します。
パラメータを書き込み可能 （PWE=1）にします。
サーボ設定画面上でサーボパラメータの初期設定を行います。
Power Mate i で CRT がないものは、サーボ設定画面の各項目に対応する番号に
設定値を入力してください。⇒図 2.1.3 参照
NC のキーより以下の手順でサーボ設定画面を表示します。
Series15i
SYSTEM キーを数回押すとサーボ設定画面が表示されます。
Series0i-C
キーを数回押すことにより、PARAMETER SETTING SUPPORT（パラ
メータ設定支援画面）を表示します。
ソフトキー[ (OPRT) ] を押し、「SERVO SETTING 」の項目にカーソルをあわ
せて、[SELECT]を押すと、サーボ設定画面が表示されます。
図 2.1.3(a) パラメータ設定支援画面
0i-C の場合、サーボ設定画面は、標準画面と従来互換画面の２通りあり、どち
らの画面を用いても、同様の初期設定を行うことができます。本説明書では、
従来互換画面を用いた設定方法について説明します。
標準画面に関しては「FANUC Series0i-MODEL C/0i Mate- MODEL C スタート
アップマニュアル（B-64114JA-1）」を参照ください。
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19. B-65270JA/07 2. αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定
（標準画面） （従来互換画面）
図 2.1.3(b) 0i-C サーボ調整画面
サーボ設定画面（標準画面）が表示されている場合、次のソフトキー操作を行
うことでサーボ設定画面（従来互換画面）を表示させることができます。
〔(OPRT)〕→〔 〕→〔CHANGE〕
Series30i,31i,32i,16i,18i,21i,20i,0i-B
→〔SYSTEM〕→〔 〕→〔SV-PRM〕
サーボ画面が表示されない場合、次の設定を行い、NC の電源を OFF/ON しま
す。
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
3111 SVS
SVS(♯0) 1: サーボ画面を表示する
次の画面が表示されたら、カーソルを設定する項目に移動させ、データを直接
入力します。
Power Mate
サーボ設定 01000 N0000
X軸 Z軸
初期設定ビット 00001010 00001010 No.2000
モータ番号 16 16 2020
AMR 00000000 00000000 2001
CMR 2 2 1820
フィードギア N 1 1 2084
（N/M） M 100 100 2085
移動方向 111 111 2022
速度パルス数 8192 8192 2023
位置パルス数 12500 12500 2024
レファレンスカウンタ 10000 10000 1821
図 2.1.3(c) サーボ設定画面 Power Mate i の場合
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20. 2.αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定 B-65270JA/07
(2) 初期設定
初期設定を開始します。（12）まで NC の電源は OFF しないでください。
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
初期設定ビット PRMC DGPR PLC0
（ 注）
初期設定ビットの#1 を 0 にします。
DGPR(♯1)＝0
初期設定終了後、DGPR(♯1)＝1 に設定されます。
注
初期設定ビット PRMC(#3)は初期設定終了後、自動的に 1 が設定され
ます。（Series 30i, 31i, 32i を除く）
(3) モータ番号の設定
モータ番号を設定します。
使用するサーボモータのモータ番号を以降の表よりモータモデル、 （A06B
図番
－****－B***の中央の 4 桁の数字）に合わせて選択します。
サーボ HRV3,4 制御を使用する場合は、サーボ HRV2 制御用モータ番号でロー
ディングを行ってください。表に示されている系列・版数以降のサーボソフト
でローディング可能です。
“□”はオプションの有無によって値が変わります。
“-” は 2007 年 8 月現在、標準パラメータの自動ローディングができません。
注
・ Series30i,31i,32i
サーボ HRV2 制御用のモータ番号をご指定下さい。
・ Series30i,31i,32i 以外
No.1023（サーボ軸番号）が連続した奇数,偶数の組では、同じサーボ
HRV 制御のモータ番号を設定して下さい。
（良い例）
No.1023＝1,2 のサーボ軸：サーボ HRV2 制御用モータ番号
No.1023＝3,4 のサーボ軸：サーボ HRV1 制御用モータ番号
（悪い例）
No.1023＝1 のサーボ軸 ：サーボ HRV2 制御用モータ番号
No.1023＝2,3 のサーボ軸：サーボ HRV1 制御用モータ番号
・ サーボソフト 9096 系列ではサーボ HRV1 制御のみ使用可能です。必
ずサーボ HRV1 制御用のモータ番号をご指定ください。
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21. B-65270JA/07 2. αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定
αiS シリーズサーボモータ
モータ番号 90D0 90B5 90B1
モータモデル モータ図番 90B0 9096
HRV1 HRV2 90E0 90B6 90B8
αiS 2/5000 0212 162 262 A H A A A
αiS 2/6000 0218 - 284 G - B B -
αiS 4/5000 0215 165 265 A H A A A
αiS 8/4000 0235 185 285 A H A A A
αiS 8/6000 0232 - 290 G - B B -
αiS 12/4000 0238 188 288 A H A A A
αiS 22/4000 0265 215 315 A H A A A
αiS 30/4000 0268 218 318 A H A A A
αiS 40/4000 0272 222 322 A H A A A
αiS 50/3000 0275-B□0□ 224 324 B V A A F
αiS 50/3000 FAN 0275-B□1□ 225 325 A N A A D
αiS 100/2500 0285 235 335 A T A A F
αiS 100/2500 FAN 0285 230 330 P - - I -
αiS 200/2500 0288 238 338 A T A A F
αiS 200/2500 FAN 0288 234 334 P - - I -
αiS 300/2000 0292 115 342 B V A A -
αiS 500/2000 0295 245 345 A T A A F
αiF シリーズサーボモータ
モータ番号 90D0 90B5 90B1
モータモデル モータ図番 90B0 9096
HRV1 HRV2 90E0 90B6 90B8
αiF 1/5000 0202 152 252 A H A A A
αiF 2/5000 0205 155 255 A H A A A
αiF 4/4000 0223 173 273 A H A A A
αiF 8/3000 0227 177 277 A H A A A
αiF 12/3000 0243 193 293 A H A A A
αiF 22/3000 0247 197 297 A H A A A
αiF 30/3000 0253 203 303 A H A A A
αiF 40/3000 0257-B□0□ 207 307 A H A A A
αiF 40/3000 FAN 0257-B□1□ 208 308 A I A A C
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22. 2.αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定 B-65270JA/07
αiS シリーズサーボモータ（400V 駆動）
モータ番号 90D0 90B5 90B1
モータモデル モータ図番 90B0 9096
HRV1 HRV2 90E0 90B6 90B8
αiS 2/5000HV 0213 163 263 A Q A A D
αiS 2/6000HV 0219 - 287 G - B B -
αiS 4/5000HV 0216 166 266 A Q A A D
αiS 8/4000HV 0236 186 286 A N A A D
αiS 8/6000HV 0233 - 292 G - B B -
αiS 12/4000HV 0239 189 289 A N A A D
αiS 22/4000HV 0266 216 316 A N A A D
αiS 30/4000HV 0269 219 319 A N A A D
αiS 40/4000HV 0273 223 323 A N A A D
αiS 50/3000HV FAN 0276-B□1□ 226 326 A N A A D
αiS 50/3000HV 0276-B□0□ 227 327 B V A A F
αiS 100/2500HV 0286 236 336 B V A A F
αiS 100/2500HV FAN 0286 231 331 P - - I -
αiS 200/2500HV 0289 239 339 B V A A F
αiS 200/2500HV FAN 0289 237 337 P - - I -
αiS 300/2000HV 0293 243 343 B V A A F
αiS 500/2000HV 0296 246 346 B V A A F
αiS 1000/2000HV 0298 248 348 B V A A F
αiS 2000/2000HV (注 1)
0091 - 340 J - B B -
注
別途、手動設定が必要です。（4.16.3 項「PWM 分配モジュール構成で
のパラメータ設定について」をご参照下さい。）
トルクコントロール機能を使用する際には、弊社までご連絡ください。
αiF シリーズサーボモータ（400V 駆動）
モータ番号 90D0 90B5 90B1
モータモデル モータ図番 90B0 9096
HRV1 HRV2 90E0 90B6 90B8
αiF 4/4000HV 0225 175 275 A Q A A E
αiF 8/3000HV 0229 179 279 A Q A A E
αiF 12/3000HV 0245 195 295 A Q A A E
αiF 22/3000HV 0249 199 299 A Q A A E
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23. B-65270JA/07 2. αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定
αCi シリーズサーボモータ
モータ番号 90D0 90B5 90B1
モータモデル モータ図番 90B0 9096
HRV1 HRV2 90E0 90B6 90B8
αC4/3000i 0221 171 271 A H A A A
αC8/2000i 0226 176 276 A H A A A
αC12/2000i 0241 191 291 A H A A A
αC22/2000i 0246 196 296 A H A A A
αC30/1500i 0251 201 301 A H A A A
βiS シリーズサーボモータ
駆動 モータ番号 90D0 90B5 90B1
モータモデル モータ図番 90B0 9096
アンプ HRV1 HRV2 90E0 90B6 90B8
βiS0.2/5000 (
0111 注
1)
4A - 260 A N A A ＊
βiS 0.3/5000 0112
(注 1)
4A - 261 A N A A ＊
βiS 0.4/5000 0114 (注 1)
20A - 280 A N A A ＊
βiS 0.5/6000 0115 20A 181 281 G - B B -
βiS 1/6000 0116 20A 182 282 G - B B -
20A 153 253 B V A A F
βiS 2/4000 0061(注 2)
40A 154 254 B V A A F
20A 156 256 B V A A F
βiS 4/4000 0063(注 2)
40A 157 257 B V A A F
20A 158 258 B V A A F
βiS 8/3000 (
0075 注
2)
40A 159 259 B V A A F
20A 169 269 K - D E -
βiS 12/2000 0077(注 2)
40A 168 268 P - - - -
βiS 12/3000 0078 40A 172 272 B V A A F
βiS 22/2000 0085 40A 174 274 B V A A F
注
1 本モータでは HRV1 制御は使用できません。したがって、9096 系列では使
用できません。
2 “-B□□6” の場合には、必ず FS 0i 専用のパラメータを使用して下さい。
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24. 2.αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定 B-65270JA/07
βiS シリーズサーボモータ（400V 駆動）
駆動 モータ番号 90D0 90B5 90B1
モータモデル モータ図番 90B0 9096
アンプ HRV1 HRV2 90E0 90B6 90B8
βiS 2/4000HV 0062 10A 151 251 J - B C -
βiS 4/4000HV 0064 10A 164 264 J - B C -
βiS 8/3000HV 0076 10A 167 267 J - B C -
βiS 12/3000HV 0079 20A 170 270 J - B C -
βiS 22/2000HV 0086 20A 178 278 J - B C -
βiS シリーズサーボモータ（FS0i 専用）
駆動 モータ番号
モータモデル モータ図番 90B5 90B8
アンプ HRV1 HRV2
20A 206 306 D I
βiS 2/4000 0061-B□□6
40A 210 310 D I
20A 211 311 D I
βiS 4/4000 0063-B□□6
40A 212 312 D I
20A 183 283 D I
βiS 8/3000 0075-B□□6
40A 194 294 D I
20A 198 298 D I
βiS 12/2000 0077-B□□6
40A 200 300 - -
20A 202 302 D I
βiS 22/1500 0084-B□□6
40A 205 305 D I
上記モータモデルは 90B5, 90B8 系列でのみ駆動可能です。
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25. B-65270JA/07 2. αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定
リニアモータ
サーボ HRV2 制御用リニアモータパラメータ
注：以下のリニアモータは 200V 駆動用です。
90D0 90B5
モータモデル モータ図番 モータ番号 90B0 90B1 9096
90E0 90B6
LiS 300A1/4 0441-B200 351 G - B B -
LiS 600A1/4 0442-B200 353 G - B B -
LiS 900A1/4 0443-B200 355 G - B B -
LiS 1500B1/4 0444-B210 357 G - B B -
LiS 3000B2/2 0445-B110 360 G - B B -
LiS 3000B2/4 0445-B210 362 G - B B -
LiS 4500B2/2 0446-B110 364 G - B B -
LiS 6000B2/2 0447-B110 368 G - B B -
LiS 6000B2/4 0447-B210 370 G - B B -
LiS 7500B2/2 0448-B110 372 G - B B -
LiS 7500B2/4 0448-B210 374 G - B B -
LiS 9000B2/2 0449-B110 376 G - B B -
LiS 9000B2/4 0449-B210 378 G - B B -
LiS 3300C1/2 0451-B110 380 G - B B -
LiS 9000C2/2 0454-B110 384 G - B B -
LiS 11000C2/2 0455-B110 388 G - B B -
LiS 15000C2/2 0456-B110 392 G - B B -
LiS 15000C2/3 0456-B210 394 G - B B -
LiS 10000C3/2 0457-B110 396 G - B B -
LiS 17000C3/2 0459-B110 400 G - B B -
注：以下のリニアモータは 400V 駆動用です。
90D0 90B5
モータモデル モータ図番 モータ番号 90B0 90B1 9096
90E0 90B6
LiS 1500B1/4 0444-B210 358 G - B B -
LiS 3000B2/2 0445-B110 361 G - B B -
LiS 4500B2/2HV 0446-B010 363 G - B B -
LiS 4500B2/2 0446-B110 365 G - B B -
LiS 6000B2/2HV 0447-B010 367 G - B B -
LiS 6000B2/2 0447-B110 369 G - B B -
LiS 7500B2/2HV 0448-B010 371 G - B B -
LiS 7500B2/2 0448-B110 373 G - B B -
LiS 9000B2/2 0449-B110 377 G - B B -
LiS 3300C1/2 0451-B110 381 G - B B -
LiS 9000C2/2 0454-B110 385 G - B B -
LiS 11000C2/2HV 0455-B010 387 G - B B -
LiS 11000C2/2 0455-B110 389 G - B B -
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26. 2.αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定 B-65270JA/07
90D0 90B5
モータモデル モータ図番 モータ番号 90B0 90B1 9096
90E0 90B6
LiS 15000C2/3HV 0456-B010 391 G - B B -
LiS 10000C3/2 0457-B110 397 G - B B -
LiS 17000C3/2 0459-B110 401 G - B B -
サーボ HRV1 制御用リニアモータパラメータ
90D0 90B5
モータモデル モータ図番 モータ番号 90B0 90B1 9096
90E0 90B6
LiS 1500B1/4 0444-B210 90 A A A A A
LiS 3000B2/2 0445-B110 91 A A A A A
LiS 6000B2/2 0447-B110 92 A A A A A
LiS 9000B2/2 0449-B110 93 A A A A A
LiS 1500C2/2 0456-B110 94 A A A A A
LiS 3000B2/4 0445-B210 120 A A A A A
LiS 6000B2/4 0447-B210 121 A A A A A
LiS 9000B2/4 0449-B210 122 A A A A A
LiS 15000C2/3 0456-B210 123 A A A A A
LiS 300A1/4 0441-B200 124 A A A A A
LiS 600A1/4 0442-B200 125 A A A A A
LiS 900A1/4 0443-B200 126 A A A A A
LiS 6000B2/4 0412-B811 127(160A 駆動) A R A A D
LiS 9000B2/2 0413 128(160A 駆動) A N A A D
LiS 9000B2/4 0413-B811 129(360A 駆動) A Q A A D
LiS 15000C2/2 0414 130(360A 駆動) A Q A A D
（参考）
6 章に記載のパラメータテーブルには同じリニアモータに対して 2 つのモータ
番号があります。片方はαシリーズサーボアンプ（130A,240A）で駆動するた
めのパラメータですので、モータ番号を間違えないよう注意してください。
αサーボアンプ駆動 αi サーボアンプ駆動
モータモデル アンプ アンプ
モータ番号 モータ番号
最大電流値[A] 最大電流値[A]
LiS 6000B2/4 240 121 160 127
LiS 9000B2/2 130 93 160 128
LiS 9000B2/4 240 122 360 129
LiS 15000C2/2 240 94 360 130
- 18 -

27. B-65270JA/07 2. αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定
同期ビルトインサーボモータ
サーボ HRV2 制御用同期ビルトインサーボモータパラメータ
注：以下の同期ビルトインサーボモータは 200V 駆動用です。
90D0 90B5 90B1
モータモデル モータ図番 モータ番号 90B0 9096
90E0 90B6 90B8
DiS 22/600 0482-B10x 421 P - - I -
DiS 85/400 0483-B20x 423 N - - H -
DiS 85/1000 0483-B22x 443 P - - K -
DiS 110/300 0484-B10x 425 N - - H -
DiS 110/1000 0484-B12x 445 P - - K -
DiS 260/300 0484-B30x 427 N - - H -
DiS 260/600 0484-B31x 429 N - - H -
DiS 260/1000 0484-B32x 447 P - - K -
DiS 370/300 0484-B40x 431 N - - H -
DiS 1200/250 0485-B50x 435 N - - H -
DiS 1500/200 0486-B30x 437 N - - H -
DiS 2100/150 0487-B30x 439 N - - H -
DiS 3000/150 0487-B40x 441 N - - H -
注：以下の同期ビルトインサーボモータは 400V 駆動用です。
90D0 90B5 90B1
モータモデル モータ図番 モータ番号 90B0 9096
90E0 90B6 90B8
DiS 22/600 0482-B10x 422 P - - I -
DiS 85/400 0483-B20x 424 N - - H -
DiS 110/300 0484-B10x 426 N - - H -
DiS 260/300 0484-B30x 428 N - - H -
DiS 260/600 0484-B31x 430 N - - H -
DiS 370/300 0484-B40x 432 K - - H -
DiS 1200/250 0485-B50x 436 N - - H -
DiS 1500/200 0486-B30x 438 N - - H -
DiS 2100/150 0487-B30x 440 N - - H -
DiS 3000/150 0487-B40x 442 N - - H -
- 19 -

28. 2.αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定 B-65270JA/07
(4) AMR の設定
AMR には下表の値を設定してください。
モータ種類 AMR 設定値
αiS/αiF/βiS モータ 00000000
(αiS2000HV,αiS3000HV 除く)
αiS2000HV,αiS3000HV 00001000
リニアモータ （注 1）
同期ビルトインサーボモータ （注 2）
注
1 リニアモータの場合は 4.14 節「リニアモータのパラメータ設定」に
従って設定してください。
2 同期ビルトインサーボモータの場合は、4.15 節「同期ビルトインサー
ボモータのパラメータ設定」に従って設定してください。
(5) CMR の設定
NC からサーボ系への移動量の指令倍率を設定します。
CMR=指令単位 / 検出単位
CMR が 1/2～48 設定値=CMR×2
通常は、指令単位=検出単位（CMR=1）なので、2 を設定します。
(6) フレキシブル・フィードギアの設定
フレキシブル・フィードギア（F・FG）を設定します。
パルスコーダ、別置検出器からの位置フィードバックパルスを可変にすること
により、各種のボールネジのリード、減速比に対し、容易に検出単位を設定す
ることができます。
リニアモータの場合は 4.14 節「リニアモータのパラメータ設定」に従って設
定してください。
同期ビルトインサーボモータの場合は、4.15 節「同期ビルトインサーボモータ
のパラメータ設定」に従って設定してください。
(a) セミクローズの場合
αi パルスコーダの設定
⇓ (注 1) モータ 1 回転当たりに
F・FG の分子（≦32767） 必要な位置パルス数
＝ の約分数
F・FG の分母（≦32767） 100 万 ⇐ (注 2)
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29. B-65270JA/07 2. αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定
注
1 F・FG の分子、分母とも最大設定値（約分後）は 32767 です。
2 αi パルスコーダは分解能に関係なく、F・FG の設定上はモータ 1 回
転あたり 100 万パルスとして扱います。
3 ラック・ピニオン等でモータ 1 回転当りに必要なパルス数に円周率π
が入る場合には
355
π≒ として計算して下さい。
113
設定例
リード 5mm/rev のボールネジを直結、検出単位 1µm の場合
モータ 1 回転（5mm）当たりに必要なパルスは、
5／0.001=5000 パルスとなります。
モータ 1 回転でαi パルスコーダから 1000000 パルス帰還するので、
FFG=5000／1000000=1／200
その他の FFG（分子／分母）設定例、減速比は 1：1
ボールネジのリード
検出単位
6mm 8mm 10mm 12mm 16mm 20mm
1µm 6 ／1000 8／1000 10／1000 12／1000 16／1000 20／1000
0.5µm 12 ／ 1000 16／1000 20／1000 24／1000 32／1000 40／1000
0.1µm 60 ／1000 80／1000 100／1000 120／1000 160／1000 200／1000
設定例
回転軸、モータ－テーブル間の減速比 10:1、検出単位 1/1000 度の場合
モータ 1 回転するとテーブルは 360/10 度回転します。
モータ 1 回転当たりに必要な位置パルス数は、
360/10／(1/1000)=36000 パルス
F・FG の分子 36000 36
＝ ＝
F・FG の分母 100 万 1000
回転軸、モータ－テーブル間の減速比 300:1、検出単位 1/10000 度の場合
モータ 1 回転するとテーブルは 360/300 度回転します。
モータ 1 回転当たりに必要な位置パルス数は、
360/300／(1/10000)=12000 パルス
F・FG の分子 12000 12
＝ ＝
F・FG の分母 100 万 1000
- 21 -

30. 2.αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定 B-65270JA/07
(b) フルクローズの場合
別置位置検出器使用（フルクローズ）の設定
一定移動距離に対する
F・FG の分子（≦32767） 必要な位置パルス数
＝ の約分数
F・FG の分母（≦32767） 一定移動距離に対する
別置検出器からの位置パルス数
設定例
0.5µm スケールを使用して 1µm 検出する場合(L はある一定距離)
F・FG の分子 L/1 1
＝ ＝ と設定します。
F・FG の分母 L/0.5 2
その他の FFG（分子／分母）設定例
スケールの分解能
検出単位
1µm 0.5µm 0.1µm 0.05µm
1µm 1／1 1／2 1／10 1／20
0.5µm － 1／1 1／5 1／10
0.1µm － － 1／1 1／2
注
サーボソフトで許容できる最高回転数は、検出単位に依存します。
（付録 E「サーボソフトにおける速度限界値」参照）
要求される最高速度が実現できる検出単位を選択してください。
なお、特にライブツール用として、モータ直結で 6000 回転まで使用
される場合は、検出単位 2/1000 度（IS-B 設定、CMR=1/2 倍、フレキ
シブルフィードギア＝18/100）でご使用ください。
(7) モータの移動方向の設定
移動指令が正の場合にモータが回転する方向を設定してください。
リニアモータの場合は、4.14 節「リニアモータのパラメータ設定」に従って設
定してください。
同期ビルトインサーボモータの場合は、4.15 節「同期ビルトインサーボモータ
のパラメータ設定」に従って設定してください。
111 パルスコーダ側から見て時計回り
－111 パルスコーダ側から見て反時計回り
パルスコーダ側から
パルスコーダ側から
見て反時計回り FANUC 見て時計回り
－111 を設定
111 を設定
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31. B-65270JA/07 2. αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定
(8) 速度パルス数、位置パルス数の設定
接続されている検出器に応じて、速度パルス数および位置パルス数を設定して
下さい。
リニアモータの場合は、4.14 節「リニアモータのパラメータ設定」に従って設
定してください。
同期ビルトインサーボモータの場合は、4.15 節「同期ビルトインサーボモータ
のパラメータ設定」に従って設定してください。
(a) 速度パルス数
速度パルス数は 8192 を設定してください。
αiS/αiF/βiS モータ 8192
(b) 位置パルス数
(b)-1 位置パルス数の設定 セミクローズの場合
位置パルス数は 12500 を設定してください。
位置パルス数 12500
（αiS/αiF/βiS モータ、セミクローズ）
(b)-2 位置パルス数の設定 フルクローズの場合（2.1.4 項, 2.1.5 項参照）
位置パルス数にはモータが 1 回転したときに、別置検出器から帰還するパルス
数を設定します。（位置パルス数の計算には、フレキシブルフィードギアは関
係ありません。）
位置パルス数（フルクローズ） モータが 1 回転したときに、別置
検出器から帰還するパルス数
1 回転 100 万パルスの分解能を持つシリアルロータリースケールを使用する場
合は、12500 を 100 万パルスと考えて設定します。
位置パルス数（フルクローズ） 12500×
※100 万パルス／rev （モータ＝テーブル間の減速比）
例 1: パラレルタイプ、シリアルリニアスケール
リード 10mm のボールネジ（直結）、1 パルス 0.5µｍの分解能を持つ別
置検出器を使用する場合
位置パルス数=10／0.0005=20,000
例 2: シリアルロータリースケール
モータ＝テーブル間の減速比が 10:1 の場合
位置パルス数=12,500×(1/10)=1250
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32. 2.αiS/αiF/βiS シリーズのサーボパラメータの設定 B-65270JA/07
(b)-3 位置パルス数の設定が 32767 より大きくなる場合
位置パルス数が 32767 を超える場合、以下のパラメータを設定ください。
2628 (FS15i) 位置フィードバックパルス数変換係数
2185 (FS30i,16i)
90E0,90D0 系列､90B0 系列､90B5,90B6 系列､90B1 系列：
位置フィードバックパルス変換係数を使用し、2 つのパラメータの積で位
置パルス数を設定してください。
モータ1回転あたりの別置検出器からのパルス数
位置パルス設定値 =
位置パルス変換係数
※速度パルス数の変更は不要です。
9096 系列：
位置フィードバックパルス変換係数に対応していませんので、従来通り、
初期設定ビット bit0=1 として速度パルス数、位置パルス数の設定を 1/10
としてください。
モータ1回転あたりの別置検出器からのパルス数
位置パルス設定値 =
10
本来設定すべき速度パルス数
速度パルス設定値 =
10
= 819 (αiS / αiF / βiSモータの場合)
→2.1.8 項の補足 3 を参照願います。
注
初期設定ビットの bit0(No.2000#0(FS30i,16i 等)／No.1804#0 (FS15i))
に１を設定すると、速度パルス数、位置パルス数を内部的に 10 倍する
ことが可能です。ただし、通常は、No.2000#0=0 とし、位置パルス数
が設定範囲内に入らない場合は、位置パルス変換係数を使用して対応
ください。
以下のような事情がある場合においてのみ、No.2000#0=1 とした上、
速度パルス数、位置パルス数共に本来設定すべき値の 1/10 を設定しま
す。
• リニアモータ、同期ビルトインサーボモータを使用し、高分解能の
検出器を使用しているため、速度パルス数が 32767 以下に収まら
ない場合。
• 9096 系列のサーボソフトを使用しているため、位置パルス変換係
数のパラメータが使用できない場合
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